碳化硅的超細粉碎設備主要有攪拌磨機、氣流磨機、振動磨機及球磨機等。傳統的球磨機應用較早，設備穩定性好，但效率低，能耗大，增加了分級難度。振動磨機粉碎效果還可以，但其能耗較高，工作時噪音大，細磨碳化硅這樣的硬質材料時設備磨損嚴重，氣流磨機生產效率高，生產能力小。